3S-B50高纯臭氧发生器是液化和储存臭氧气体并连续供应高纯度臭氧气体的装置。由于高纯度的臭氧水平，它可以用作半导体工艺中的氧自由基产生源。为了安全起见，本机具有足够的安全措施。
优势：
●超高纯臭氧制备●臭氧浓度高于99.5%●液化池容积限制设计●安全阀设计●急停设计
产品特点● 全金属密封臭氧液化池● 无硅胶吸附剂● 闭循环制冷机自动控温● 提纯速度快,准备时间只需30分钟；提纯1小时，能产出约4标升高纯臭氧气体，可满足大部分用户十小时以上的生长需求● 设计紧凑● 操作简便，即起即停● 高纯臭氧应用领域：化学气相沉积（CVD），原子层沉积（ALD），氧化物生长，表面处理，粒子清洁，光刻胶去除，灰化等。
臭氧输出束流的稳定性和持续性
日本进口高纯臭氧系统
将臭氧生成装置产生的臭氧气体极度低温液化后，生成99.99%浓度臭氧。可以持续供给99.99%浓度臭氧。
工作原理
臭氧应用
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