可用于：ALD、PLD、MBE、半导体、科研
特点1.采用数字电流表准确显示电流示数。2.设备配有臭氧浓度调节装置（10*10刻度转盘），可根据实际情况自由调节臭氧浓度。3.设备采用第八代HYE智能电晕放电臭氧发生技术，使用智能钛金纳米石英材料，温度低，浓度高，耐高压、耐潮湿，抗腐蚀性强。产品可以在不同环境条件下稳定工作。4.模块化电路，体积小；防回水设计，回水不烧毁，更安全。5.设备元器件和管道等采用抗氧化器件，耐氧化，工作寿命长。6.采用空气/氧气两用型气源，应用更广泛。7.多级风冷冷却，可连续稳定工作。8.主机箱体不锈钢。9.内置高压气泵，可提供稳定的空气气源输出。10.采用同林电源，杜绝湿度影响，大大延长设备寿命。技术参数设备名称：臭氧发生器(试验用)设备型号：3S-T10 PRO型设备尺寸：350*220*600mm设备功率：180W臭氧产量：臭氧产量：空气源≤4.5g/h(气量1-10L/min)；氧气源≤10g/h（气量0.05-5L/min）臭氧浓度：空气源≤10mg/L,氧气源：5-120mg/L。设备重量：13kg安装方式：落地环境温度：温度0~35度环境湿度：≤80%冷却方式：风冷现场图片
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