臭氧水浓度：5至100ppm臭氧水流量：1 至 120 升/分钟臭氧水供给压力：max.0.25MPa原料气：氧气，（二氧化碳作为浓度衰减的对策）电源：AC200V 三相
SGX-1B11SN规格
臭氧水浓度 5至150ppm臭氧水流量 1 至 90 升/分钟原料气 氧气，（二氧化碳作为浓度衰减的对策）电源 AC200V 三相
SGXG规格
臭氧水浓度：5-30ppm臭氧水流量：1 至 60 升/分钟原料气：氧气（二氧化碳作为浓度衰减的对策）电源：AC200V 三相特征能够处理高浓度和大流量占地面积小，结构紧凑低廉的运行成本（低功耗、更换部件少、放电电池寿命长）高耐压、长寿命的高可靠性放电电池快速启动和出色的集中响应能力通过连接臭氧浓度计（反馈控制）实现出色的浓度稳定性CE/NRTL 认证，符合 SEMI 标准停机时无需维护也可提供不含硝酸的臭氧水
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