臭氧发生器通过使氧气或干燥的空气通过高压电场或电晕产生臭氧。O2键分裂，释放出氧原子（O1）以与O2分子快速碰撞形成O3。调节施加的电压，频率或空气流速会影响臭氧的产生。同样，产生的浓度也受原料气的露点和温度影响。
电晕放电臭氧发生器的主要部件：
组成普通臭氧发生器的四个主要组成部分：
（1）变压器
（2）高压或高频电极
（3）绝缘材料
（4）低压（接地）电极
臭氧通常以ppm（百万分之一），g/h（克/小时）或重量百分比的形式计算。所施加的浓度范围空气为原料的情况下为1至5w％，在氧气为原料的情况下为6至14w％。温度和湿度对臭氧浓度起很大作用。如果使用潮湿的空气而不是非常干燥的空气，则任何臭氧发生器的发电量都会受到影响。
特别注意事项
臭氧不能像其他工业气体一样进行存储和运输，因为它会迅速分解为双原子氧，因此必须在现场生产。
影响臭氧产生效率的主要参数是气体温度，该气体温度由冷却水温度和/或气体速度控制。水越冷，臭氧合成越好。气体速度越低，浓度越高（但产生的净臭氧量越低）。在典型的工业条件下，几乎有90％的有效功率会产生大量热量，就需要通过足够的冷却水流将其冷却。
由于臭氧的高反应活性，因此只能使用很少的材料，例如不锈钢（质量316L），钛，铝（只要不存在水分），玻璃，聚四氟乙烯或聚偏二氟乙烯。
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